潽拓——{精},分子泵
广州潽拓,EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修保养
主要特性和优势
占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一,EPX 显著节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧,增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上,从而节省了前级管道和 安装成本,如果需要也可远程使用。
受zhuanli保护的独特泵机构 - EPX 可以从大气压抽空到 UHV 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。
超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑,这可能成为制程 工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承油脂,并且不存在 任何其他的潜在污染源。
非常可靠 - EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10),通常 每 5 年维修一次,zui大程度地延长了泵的 使用寿命。
运转时的噪声低至 56 dB(A),可在洁净室内实现低噪声。
潽拓——Edwards二手分子泵,分子泵
广州潽拓专业维修分子泵,爱德华Edwards Ext 75dx iso100复合泵维修保养
性能特点
兼容TIC涡轮仪表控制器。
多种通讯模式。
并口,用于传统控制信号接口。
串口,用于RS-232接口。
通过RS-232接口,用户可以设置各种参数RS-232。
正常泵速显示。
准备转速显示。
泵温。
增强型泵速、功耗、温度监测。
潽拓——{精},分子泵
Edwards EXT255HI英国爱德华分子泵维修 -爱德华EXT255HI二手分子出售
英国爱德华EXT系列分子泵(部分型号当天可交货,有备品替换)
Edwards EXT 70 TURBO Pump
Edwards EXT70H TURBO Pump
Edwards EXT70Hi TURBO Pump
Edwards EXT75DX TURBO Pump
Edwards EXT75iDX TURBO Pump
Edwards EXT76DX TURBO Pump
Edwards EXT200 TURBO Pump
Edwards EXT200H TURBO Pump
Edwards EXT250 TURBO Pump
Edwards EXT255HI TURBO Pump
Edwards EXT250H TURBO Pump
Edwards EXT250HI TURBO Pump